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製品の詳細
主な用途：
このテーブルは主に半導体製造におけるシリコンシート、ガラス、フェライト、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、リン化ガリウム、リン砒化ガリウム及び各種セラミックス等の硬脆性材料のスクライブ又は溝付け仕事。
主な技術特徴：
Y軸は転動ガイドを採用し、高密度位置決めモータを輸入し、ラスター定規閉ループ制御、間違いなし差蓄積環状光と同軸光を同時に設置し、CCD監視アライメントシステムシンプルでフレンドリーなユーザー操作インタフェース、刃具摩耗自動補償機能を備えている
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